전자총[ 전자총에서의 전자생성과 전자가 시료에 도달하기까지]
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작성일 21-04-23 13:31
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팁은 W-point tip을 600~2000 A의 곡률반경을 …(省略)
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전자총[ 전자총에서의 전자생성과 전자가 시료에 도달하기까지]
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전자총[ 전자총에서의 전자생성과 전자가 시료에 도달하기까지]
다. 전자총은 전자선(electron ray)의 형태로 사용되는 안정된 전자원을 공급한다.
_SLIDE_5_
전계방사형(field emission)
전자총은 그림과 같이 팁(cathode), 1차 양극, 2차 양극으로 구성된다된다. 충분한 양의 이차전자를 생산할 수 있을 만큼 많은 양의 1차 전자를 만들되, 자기렌즈에 의해서 작은 빔을 결과 적으로 형성하도록 고안되어 있따
SEM 전자총의 종류
열방사형
(thermionic electron gun)
전계방사형
(field emission electron gun)
_SLIDE_4_
열방사형(thermionic electron gun)
열방사형(thermal emission)의 경우 음극은 주로 텅스텐으로 약 100㎛ 직경의 선 필라멘트로서 끝이 V자 모양을 가진 머리핀 모양으로 구부러져 있다, 텅스텐은 일함수 값이 4.5 eV로 크지 않고, 융점은 3,650K로 매우 높기 때문에 필라멘트로 많이 사용되며, 일반적으로 필라멘트에 직접 전류를 가하여 약 2,700K까지 가열한다.
wehnelt cylinder에 마이어스 전압이 가해지면 wehnelt cylinder는 음극인 필라멘트보다 더 마이너스 전압을 띠게 되고, 이로 인해 필라멘트에서 방출된 전자는 척력을 받게 되어 가운데로 집속된다된다.
_SLIDE_1_
전자총에서의 전자생성과
전자가 시료에 도달하기까지
_SLIDE_2_
전자총
렌즈
조리개 (Aperature)
축조정 코일
주사 코일
비점수차 보정 코일(Stigmator)
진공계
목차
_SLIDE_3_
전자총이란?
전자총의 역할은 전자를 만들고 가속시키는 역할을 한다. 음극인 필라멘트와 양극판 사이에 가해지는 전압을 가속전압이라고 하는데 이에 의해 필라멘트에서 방출된 전자가 가속되어 아래 방향으로 방사되면서 전자빔을 형성하게 된다된다.
